Si半導体
今や生活に欠かせないものとなったスマホやカーナビ・AI家電などのエレクトロニクス産業の重要なパーツである半導体。
絶縁膜関係用材料
| High-K材料 | AlCl3 TMA HOC TEMAH TEMAZr La(iPrCp)3 |
|---|---|
| 強誘電体 | TDMAH TTIP ZTB |
| 酸化膜材料 | 3DMAS |
| 電極 | TEA PT10 TaCl5 TiCl4 |
| Low-k材料 (低比誘電率膜) |
DMDMOS アルキルシリコン化合物 |
配線関係用材料
| シード層用 配線材料用 |
Al化合物 | DMAH DMEAA |
|---|---|---|
| Mo化合物 | MoCl5 MoCl6 |
|
| W化合物 | BTBMW | |
| バリアメタル用 | Co化合物 | CCTBA |
| Ni化合物 | AllylCpNi Ni(MeCp)2 Ni(PF3)4 |
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| Ru化合物 | Ru(EtCp)2 | |
| Ta化合物 | PDMAT TaCl5 |
|
| Ti化合物 | TiCl4 TDMAT TDEAT |
エッチング用材料
| Poly-Si/アモルファスSi用 | HBr HF SiCl4 |
|---|---|
| 配線用 | BCl3 BBr3 Br2 |
インプラ用材料
| B化合物 | BF3, 11BF3 |
|---|---|
| Ge化合物 | GeF4 |
| In化合物 | InI, InCl3, InF3 |
| P化合物 | PF3 |
| Sb化合物 | お問い合わせください |
クリーニング用材料
| ガス | HF |
|---|---|
| 洗浄用溶媒 | オクタン、ヘキサン、 エチルシクロヘキサン etc. |